适用于:8~12英寸晶圆化镀
装备特点:
1. 接纳10.4英寸PROFACE触摸屏人机界面操作和三菱PLC控制
2. 预处置惩罚槽:10mm德国劳士领PP-N板焊接而成
3. QDR槽:德国入口10mmPP-N板热熔焊接而成
4. 镀镍槽:2mm厚韩国浦项SUS316板焊接加电解抛光
5. 槽体设置温度、液位监控装置
6. 洗濯区域配有高效过滤器,无二次污染时机
7. 接纳耐侵蚀导线并通过耐侵蚀PE管举行;ぃ栏浪
8. 上料后全历程自动化控制,具有自动化水平高、运行本钱低、 生产效率高、性能稳固等特点
9. 装备清静性能高,在防漏液、加热、泄电等方面做了严酷的设计,确保人身和厂务清静

